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      磨削硅片的金剛石砂輪的要求

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      磨削硅片的金剛石砂輪的要求

      發布日期:2021-10-09 08:45 來源:未知 點擊:

             由于對硅片的磨削要求比較高,所以對于砂輪的性能要求也比較高,總體來講磨削硅片的金剛石砂輪要具備以下的性能。
             
            1.低的磨削表面損傷與表面粗糙度。磨削時會產生表面的損傷是避不可免的。磨削中產生的損傷要在后面的工序中將其損傷除掉。所以如果磨削時表面的損傷越深,那么后面的拋光成本越高,所以在磨削時就保持較低的表面損傷。表面粗糙度能反映亞表面損傷,表面損傷深,表面粗糙度大。與表面損傷相比,表面粗糙度容易測量。所以超精密磨削的硅片表面粗糙度要低,要求砂輪變形小,自稅能力強,氣孔均勻。
             2.磨削性能穩定。硅片生產時,砂輪的磨削變形應非常小,砂輪的磨損率應保持穩定,這樣才能預測砂輪的變化生命周期。所以砂輪的硬度、強度應保持較高水平。為了保持硅片表面預期的開關,磨削壓力必須是穩定的。硅片容易破碎,所以加工中磨削力應保持恒定,所以砂輪在磨削過程中砂輪變形小,以防止有砂輪變形而導致磨削力穩定,有足夠的氣孔容納磨削碎屑,防止因堵塞而造成的磨削力突然增大。
             3.良好的自銳性。為了在硅片磨削過程中可以保持較好的磨削性能,要求磨削砂輪有較好的自銳性。即在初步自我修整后,砂輪不需要進行定期的修整。所以砂輪的氣孔大小數量適中,砂輪中樹脂結合劑對金剛石磨粒的把持力大小適當。
             4.使用壽命。砂輪的壽命會影響到硅片的生產成本,所以對硅片進行超精密磨削的砂輪要有較長的使用壽命,一片砂輪可以磨削的硅片數量增多,降低硅片加工成本。
             今天的分享就這些了,歡迎大家持續關注中科超硬磨具磨削研究所。中科可定制各種型號的CBN砂輪。
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